日経 xTECH

『応用物理』の「研究紹介」に掲載された記事（非一様光場によるサブナノ平滑化）が日経 xTECH（クロステック）に掲載されました。

日経 xTECH 応用物理学会から
平面基板や立体構造の「サブナノ平滑化」　近接場光エッチングで実現