ナノフォトニック加工

研究内容 >自然に学ぶナノ寸法光加工

近接場光は自然界のあらゆる場所に存在します。これは、どんなに平坦な表面においてもオングストローム寸法での凹凸が存在するからです。このナノ寸法以下の凹凸には必ず近接場光がするので、これを活用することにより、自己組織的な大面積一括加工が可能となります。この技術を応用した近接場光エッチングを用いると、基板表面は原子レベルで平坦化され、究極の平坦化基板が実現します。本手法で得られた超平坦化基板を用いることで、光および電子デバイスの利用効率が飛躍的に向上すると期待されています。さらに、近接場光エッチングは、従来平滑化が「不可能」であった立体構造の平滑化も「可能」となります。この特長を活かして、超高耐圧動作可能なダイヤモンドパワースイッチデバイスの開発を目指しています。

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